Turinys:
- Apibrėžimas - Ką reiškia mikroelektromechaninė sistema (MEMS)?
- „Techopedia“ paaiškina mikroelektromechaninę sistemą (MEMS)
Apibrėžimas - Ką reiškia mikroelektromechaninė sistema (MEMS)?
Mikroelektromechaninė sistema (MEMS) yra mažytis mechaninis modulis, varomas elektros energijos. NEMS sujungia kompiuterius su mechaniniais moduliais, tokiais kaip jutikliai, pavaros ir veidrodžiai. Tai yra ekonomiškos sistemos, kuriose naudojama modifikuota prietaisų gamybos technologija.
MEMS gali būti naudojami įvairiai ir yra labai įvairūs, atsižvelgiant į įvairius komponentus, miniatiūrizavimą ir naujas standartines integruotas elektromechanines sistemas. MEMS gali būti naudojamas šlapiam ėsdinimui, pavyzdžiui, kalio hidroksidui (KOA), sausam ėsdinimui, pavyzdžiui, giliųjų reaktyviųjų jonų ėsdinimui (DRIE), liejimui ir dengimui, elektrinės iškrovos mašinoms (EDM) ir kitoms technologijoms, kurios gamina mažus įtaisus.
Mikroelektromechaninė sistema taip pat gali būti vadinama mikroelektronine sistema, mikromašina, mikrosistemų technologija ar išmaniąja medžiaga.
„Techopedia“ paaiškina mikroelektromechaninę sistemą (MEMS)
MEMS gali būti mažesnis nei žmogaus plaukų plotis ir gali būti sudarytas iš kelių komponentų, tokių kaip:
- Mikrosensoriai
- Mikropavaros
- Mikroprocesoriai
- Centriniai duomenų tvarkymo padaliniai
- Komponentai sąveikai su išoriniais elementais
MEMS yra didelis paviršiaus ploto ir tūrio santykis ir yra pagamintos naudojant silicio gamybos technologiją.
Į MEMS įrenginį įeina mikroschema, dedama ant mažos silicio drožlės, naudojamos kartu su mechaniniais komponentais. Ši technologija palaiko daugybę prietaisų, valdančių, suvokiančių ar suaktyvinančių mechaninius procesus, veikiant kaip masyvas ar atskirai.
Šiuo metu MEMS į jų architektūrą įeina vienas atskiras mikrojutiklis ar mikroakumuliatorius, tačiau ateityje gali atsirasti sudėtingesnių asimiliacijos lygių. Kitas žingsnis gali būti daugelio individualių savybių įtraukimas į vieną sistemą.
