Turinys:
Apibrėžimas - ką reiškia vaflis?
Vaflis yra plonas puslaidininkinės medžiagos, paprastai kristalinio silicio, gabalas, turintis labai ploną diską, kuris naudojamas kaip pagrindas elektroninėms integruotoms grandinėms (IC) ir silicio fotoelektrinėms elementams gaminti. Vaflis tarnauja kaip daugumos mikroelektroninių grandinių substratas ir praeina daugelį procesų, tokių kaip dopingas, implantacija ir ėsdinimas, prieš pasibaigiant integruotos grandinės galutiniam produktui.
Vaflis taip pat žinomas kaip riekelė arba substratas.
„Techopedia“ paaiškina vaflis
Vaflis pradedamas gaminti kaip ištirpinti polisilicio silicio gabaliukai, kurie po proceso, vadinamo Czochralski augimu, suformuojami į cilindrinį luitą, kai plonas pieštukas „sėklinis“ kristalas nuleidžiamas į ištirpintą silicį, kad monokristalinis silicis galėtų augti aplink jį., kuris pasukamas ir po to labai lėtai traukiamas, kad būtų suformuotas ilgas cilindrinis luitas, kurio skersmuo kinta priklausomai nuo reikalingo vaflio dydžio. Tada luitas supjaustomas į plonus gabalėlius, naudojant vaflinį pjūklą, kurio pjaustymui naudojama labai plona viela. Gautos plonos silicio „plokštelės“ yra vafliai ir vyksta įvairūs poliravimo procesai, kad prieš išsiunčiant IC gamintojams, jų paviršius būtų beveik nepriekaištingas. Vaflinio skersmuo svyruoja nuo 2 iki 18 colių, o jo storis paprastai svyruoja nuo 275 iki 925 μm.
